Qualité et efficacité dans la fabrication de gaz rares
Les gaz rares sont ainsi appelés car ils sont présents en très petites quantités dans l’air.
Le xénon est rare avec seulement 90 grammes sur 1 million de kilogrammes de l’atmosphère terrestre. Il est extrait commercialement uniquement de grandes usines de séparation d’air qui produisent plus de 1 000 tonnes d’oxygène par jour.
Air Products dispose de technologies de purification efficaces nécessaires pour éliminer les impuretés comme l’argon et l’azote qui sont très inertes.
Xénon pour la fabrication de semi-conducteurs et de puces mémoires
Le xénon est utilisé pour la gravure et le dépôt de micropuces dans la fabrication de semi-conducteurs, à la fois sous forme d’atmosphère, de plasma et de source de faisceau ionique pour les processus de gravure et de dépôt. Le xénon utilisé dans ce processus doit être très pur, car toutes les impuretés finiront par contaminer le substrat de silicium ou réagir avec les produits chimiques du processus comme le fluor pour produire du fluorure d’hydrogène (HF) toxique et hautement corrosif. En tant que chef de file mondial de fournitures pour le secteur de l’électronique, le xénon d’Air Products est produit dans notre usine de qualité électronique de pointe pour obtenir une meilleure assurance qualité. Il peut être utilisé dans le laser à excimère, les gaz tampons de laser, la gravure de mémoire vive dynamique et de portes NON-ET 3D et les écrans d’affichage au plasma.
Approvisionnement intégré en gaz
Des grandes usines de séparation d’air aux gaz de classe 6 de très haute pureté, Air Products propose des options d’approvisionnement flexibles pour répondre à tous vos besoins.
Des questions? Nous avons les réponses.
Bibliothèque FDS
Notre bibliothèque de fiches de données de sécurité (FDS) vous permet de rechercher et de trouver la FDS dont vous avez besoin dans la langue de votre choix.