Xénon pour la fabrication de semi-conducteurs et de puces mémoires
Le xénon est utilisé pour la gravure et le dépôt de micropuces dans la fabrication de semi-conducteurs, à la fois sous forme d’atmosphère, de plasma et de source de faisceau ionique pour les processus de gravure et de dépôt. Le xénon utilisé dans ce processus doit être très pur, car toutes les impuretés finiront par contaminer le substrat de silicium ou réagir avec les produits chimiques du processus comme le fluor pour produire du fluorure d’hydrogène (HF) toxique et hautement corrosif. En tant que chef de file mondial de fournitures pour le secteur de l’électronique, le xénon d’Air Products est produit dans notre usine de qualité électronique de pointe pour obtenir une meilleure assurance qualité. Il peut être utilisé dans le laser à excimère, les gaz tampons de laser, la gravure de mémoire vive dynamique et de portes NON-ET 3D et les écrans d’affichage au plasma.